|
|
| Автор: А. С. Сигов |
| Издательство: Юрайт |
| Год: 2016 |
| Cтраниц: 1 |
| Формат: PDF |
| Размер: 0 |
| ISBN: 978-5-04-027994-4 |
| Качество: excellent |
| Язык: |
|
 |
|
Описание:
|
Книга посвящена рассмотрению широкого круга физических принципов, определяющих технологические процессы изготовления интегральных схем радиоэлектронной аппаратуры – технологии получения кремниевых пластин, их оксидирования, диффузии, ионного легирования, литографии, сухого травления, сборки и герметизации готовых микроприборов. Также рассмотрены процессы формирования тонких пленок различными технологическими методами. Приведены основные схемы технологического оборудования и оснастки. Учебник предназначен для студентов вузов, обучающихся по специальностям «Проектирование и технология электронных устройств», «Проектирование и технология радиоэлектронных средств», «Конструирование и технология радиоэлектронных стредств» и «Микроэлектроника», может быть полезным для студентов других специальностей и специалистов в области радиотехники.
|
Пресс - релиз
string(4) "true"
int(290)
|
