|
|
| Автор: Моряков О.С. |
| Издательство: Высшая школа |
| Год: 1990 |
| Cтраниц: 128 |
| Формат: djvu |
| Размер: 1 292 930 |
| ISBN: 5-06-001079-1 |
| Качество: Хорошее |
| Язык: русский |
|
 |
|
Описание:
|
В книге описаны процессы воздействия на твердое тело электронных, ионных и оптических пучков, применяемые в микроэлектронике для травления диэлектриков, полупроводников, металлов, и нанесения их тонких слоев на подложки различными методами. Приведены сведения по ионной имплантации и моле-кулярно-лучевой эпитаксии, подгонке сопротивления резисторов и емкости конденсаторов, разделению материалов, сварке, стимулированию травления, отжигу и закалке. Рассмотрено технологическое оборудование
|
Пресс - релиз
string(4) "true"
int(290)
|
